सिलिकॉन वेफर्स और नीलमणि वेफर्स जैसे बड़े परीक्षण घटकों के लिए, AOI1000 ऑप्टिकल कंपोनेंट सरफेस डिफेक्ट डिटेक्टर 0.5 माइक्रोमीटर तक का डिटेक्शन रिज़ॉल्यूशन और 1000 मिमी x 600 मिमी का अधिकतम निरीक्षण एपर्चर प्रदान करता है। यह डिवाइस अमेरिकी सैन्य मानक MIL-PRF-13830A/B और अंतर्राष्ट्रीय मानक ISO 10110-7 सहित रिपोर्ट प्रारूपों के साथ स्वचालित रूप से रिपोर्ट तैयार करने में सक्षम है।
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प्रोडक्ट का नाम |
AOI1000 ऑप्टिकल घटक सतह दोष डिटेक्टर |
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अधिकतम पता लगाने का आकार |
1000mmX600mm |
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पता लगाने का संकल्प |
0.5μm |
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पता लगाने की विधि |
डार्क फील्ड ऐरे स्कैनिंग इमेजिंग |
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आउटपुट रिपोर्ट |
राष्ट्रीय मानक, अमेरिकी सैन्य मानक और अनुकूलित उद्यम रिपोर्ट। |
AOI1000 ऑप्टिकल घटक सतह दोष डिटेक्टर सिलिकॉन वेफर्स और नीलमणि वेफर्स जैसे घटकों पर सतह दोषों की स्वचालित, उच्च गति और उच्च परिशुद्धता का पता लगाने के लिए मशीन विजन तकनीक का उपयोग करता है, जो दृश्य निरीक्षण में कम दक्षता और खराब सटीकता के मुद्दों को प्रभावी ढंग से संबोधित करता है। . उच्चतम पहचान रिज़ॉल्यूशन 0.5 माइक्रोमीटर तक पहुंच सकता है, और अधिकतम पहचान एपर्चर 1000 मिमी गुणा 600 मिमी जितना बड़ा हो सकता है। इमेजिंग तकनीक में कुंडलाकार रोशनी और माइक्रो-स्कैटर डार्क फील्ड इमेजिंग शामिल है। यह उपकरण अमेरिकी सैन्य मानक MIL-PRF-13830A/B और अंतर्राष्ट्रीय मानक ISO 10110-7 सहित विभिन्न प्रारूपों में स्वचालित रूप से रिपोर्ट तैयार करने में सक्षम है।
ऑप्टिकल घटकों, ऑप्टिकल विंडो वेफर्स, सिलिकॉन वेफर्स, नीलमणि वेफर्स, आदि में सतह दोषों के गुणवत्ता नियंत्रण के लिए उपयुक्त।
कोटिंग दोष: प्रदूषण, कोटिंग को क्षति, आदि।
पॉलिशिंग दोष: खरोंच, गड्ढे, छिलना, बुलबुले, गंदगी, आदि।
यह उपकरण निम्नलिखित प्रकार के दोषों को संभाल सकता है:
◆ मल्टी-बीम कुंडलाकार रोशनी
◆ उच्च और निम्न आवर्धन विकल्पों के साथ परिवर्तनीय आवर्धन इमेजिंग
◆ 0.5 μm की पहचान सटीकता
◆ संपूर्ण-प्लेट मल्टी-वेफर पहचान
◆ तीव्र इमेजिंग के लिए रैखिक मोटर
◆ आंतरिक सफाई सुनिश्चित करने के लिए एफएफयू (फैन फिल्टर यूनिट) से सुसज्जित
मल्टी-बीम कुंडलाकार इमेजिंग रोशनी
1X से 8X तक स्वचालित ज़ूम माइक्रोस्कोप।
पूरी प्लेट के लिए एडजस्टेबल रैपिड क्लैंपिंग।
उच्च परिशुद्धता 2डी रैखिक मोटरें तीव्र शूटिंग की सटीकता सुनिश्चित करती हैं।
सैन्य मानक स्प्रेडशीट आउटपुट
परीक्षण परिणाम प्रदर्शन
कोटिंग की सतह खरोंच.
स्क्रैच
लेज़र क्षति स्थान 1
लेज़र क्षति स्थान 2
नैनोस्केल कण बिंदु
रेशा
घटक प्रलोभन
झिल्ली परत क्षति
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AOI450 ऑप्टिकल घटक सतह दोष डिटेक्टरAOI1000 ऑप्टिकल घटक सतह दोष डिटेक्टर |
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वस्तु |
विवरण |
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नमूना |
एओआई1000 |
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उपकरण कार्य |
अल्ट्रा-स्मूद सरफेस प्लेनर ऑप्टिकल घटकों के लिए मात्रात्मक दोष का पता लगाना, और अमेरिकी सैन्य मानक, राष्ट्रीय मानक और अंतर्राष्ट्रीय मानक जैसे पता लगाने के परिणामों के अनुसार इलेक्ट्रॉनिक रिपोर्ट का आउटपुट। |
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अधिकतम जांच आकार |
1000mmX600mm |
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जांच परिशुद्धता |
कम आवर्धन 5μm, उच्च आवर्धन 0.5μm |
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क्लैंपिंग विधि |
संपूर्ण प्लेट क्लैम्पिंग या सिंगल पीस क्लैम्पिंग, चौकोर और गोल पीस क्लैम्पिंग का समर्थन करता है। |
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समतल करने की विधि |
पूरी प्लेट सामग्री ने स्वचालित फोकसिंग, इलेक्ट्रिक लेवलिंग में सहायता की। |
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इमेजिंग विधि |
राष्ट्रीय मानक जीबी/टी 41805-2022 में वर्णित "ऑप्टिकल घटकों के सतही दोषों के लिए मात्रात्मक जांच विधि-माइक्रो-स्कैटर डार्क फील्ड इमेजिंग विधि" के अनुसार कुंडलाकार रोशनी, माइक्रो-स्कैटर डार्क फील्ड इमेजिंग। |
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पता लगाने की विधि |
कम आवर्धन स्कैनिंग सिलाई, उच्च आवर्धन स्थिति परिमाणीकरण। |
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स्कैनिंग तंत्र |
2डी रैखिक मोटर, स्ट्रोक 150 मिमी × 150 मिमी। |
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कैमरा पैरामीटर्स |
बड़ा लक्ष्य कैमरा, 5 मिलियन पिक्सेल। |
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रिपोर्ट प्रारूप |
एक्सेल, वर्ड प्रारूप, अमेरिकी सैन्य मानक, राष्ट्रीय मानक, अंतर्राष्ट्रीय मानक, या उद्यम सांख्यिकीय रिपोर्ट। |
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औद्योगिक पीसी कॉन्फिग |
i7 प्रोसेसर, 32GB मेमोरी, 1T हार्ड डिस्क, 6GB वीडियो मेमोरी। |
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उपकरण आयाम |
900 मिमी × 800 मिमी × 2000 मिमी (एल × डब्ल्यू × एच) |
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बिजली की आपूर्ति की वोल्टेज |
220V ± 10% |
पता
नंबर 578 यिंगकौ रोड, यांगपु जिला, शंघाई, चीन
टेलीफोन
ईमेल
