लेज़र प्लेनर इंटरफेरोमीटर

लेज़र प्लानर इंटरफेरोमीटर (एलपीआई-100), अपनी वास्तविक समय गतिशील माप गति 15 फ्रेम प्रति सेकंड तक के साथ, 100 मिमी एपर्चर के भीतर प्लेनर ऑप्टिकल तत्वों की सतह के आकार का वास्तविक समय में पता लगाने में सक्षम है। मापे गए तत्व की सतह के आकार की जानकारी ले जाने वाली किरण को एक विशेष रूप से एन्कोडेड झंझरी के माध्यम से विवर्तित किया जाता है, जो बाद में तरंगफ्रंट को चार भागों में काटती है, जिससे चार तरंगफ्रंट के साथ एक सामान्य-पथ कतरनी दो-आयामी हस्तक्षेप पैटर्न बनता है। द्वि-आयामी हस्तक्षेप को डिमोड्युलेट करके, तत्व की सतह के आकार की जानकारी प्राप्त की जा सकती है।

आइटम विशिष्टता:

BOJIONG लेजर प्लानर इंटरफेरोमीटर की सुविधा

◆वास्तविक समय गतिशील माप के 15 फ्रेम तक

◆2nm RMS उच्च चरण रिज़ॉल्यूशन

◆262144 चरण बिंदुओं का सुपर उच्च रिज़ॉल्यूशन

◆वास्तविक समय गतिशील पहचान का एहसास कर सकता है, 15 फ्रेम/सेकंड गतिशील पहचान प्राप्त कर सकता है

◆स्वतंत्र बौद्धिक संपदा अधिकार, लागत प्रभावी, सरल समायोजन, कॉम्पैक्ट संरचना के साथ

◆ सामान्य चैनल स्व-हस्तक्षेप के सिद्धांत के आधार पर, उपकरण को संदर्भ दर्पण की आवश्यकता नहीं होती है, और इसमें मजबूत प्रतिरोध हस्तक्षेप क्षमता होती है, सामान्य कारखाने के वातावरण में भी सपाट सतह का सटीक पता लगाया जा सकता है

BOJIONG लेजर प्लानर इंटरफेरोमीटर का अनुप्रयोग

यह BOJIONGLaser प्लानर इंटरफेरोमीटर मानक प्लेनर दर्पण आकार का पता लगाने के लिए FIS4 चार तरंग इंटरफेरोमेट्रिक सेंसर से लैस है, और प्रसंस्करण सॉफ्टवेयर परीक्षण किए गए घटक की सतह के पीवी मान, आरएमएस मान और पावर मान को आउटपुट करता है।

BOJIONG लेज़र प्लेनर इंटरफेरोमीटर विवरण

BOJIONG प्लेनर फोर-वेव डायनेमिक इंटरफेरोमीटर समग्र लेआउट आरेख

BOJIONG लेजर प्लानर इंटरफेरोमीटर के कार्यात्मक मॉड्यूल को एक रोशनी प्रकाश स्रोत मॉड्यूल, एक माध्यमिक बीम विस्तार मॉड्यूल, एक वाहक मॉड्यूल, नमूना दृष्टिकोण समायोजन में सहायता के लिए एक स्पॉट फोकसिंग मॉड्यूल और नमूना सतह आकार का पता लगाने के लिए एक इंटरफेरोमेट्रिक सेंसर मॉड्यूल में विभाजित किया जा सकता है। .

सिस्टम का प्रकाश स्रोत मॉड्यूल 632.8nm की केंद्रीय तरंग दैर्ध्य के साथ एक गैस हीलियम नियॉन लेजर को अपनाता है।

द्वितीयक बीम विस्तार मॉड्यूल बड़े-व्यास का पता लगाने की आवश्यकताओं को पूरा करते हुए, बीम के आकार को 100 मिमी तक विस्तारित करता है।

स्टेज सेक्शन का उपयोग परीक्षण के लिए प्लेनर ऑप्टिकल घटकों को रखने के लिए किया जाता है, जैसे कि फ्लैट क्रिस्टल, सिंगल थ्रो वेफर्स, विंडो चिप्स, प्लेनर रिफ्लेक्टर इत्यादि। लोडिंग स्टेज नमूने की गति को नियंत्रित करने के लिए एक्स और वाई दिशा में चलने वाले हैंडव्हील से सुसज्जित है। चरण, ताकि उपकरण का उत्सर्जित प्रकाश स्थान परीक्षण नमूने की सतह को पूरी तरह से कवर कर सके। वहीं, सैंपल टिल्ट पोस्चर को एडजस्ट करने के लिए स्टेज पर दो नॉब भी लगाए गए हैं। इन नॉब्स को समायोजित करके, परीक्षण विमान को ऑप्टिकल अक्ष के लंबवत बनाया जाता है।

इमेजिंग सिस्टम में दोहरी कैमरा प्रणाली है। उनमें से एक नमूना मुद्रा समायोजन में सहायता के लिए स्पॉट फोकसिंग मॉड्यूल बनाने के लिए एक ऑप्टिकल इमेजिंग कैमरे का उपयोग करता है। वास्तविक समय में नमूने की रिटर्न स्पॉट स्थिति को देखकर, माप सटीकता सुनिश्चित करने के लिए नमूना मुद्रा को समायोजित किया जाता है। दूसरा पथ FIS4 चार तरंग इंटरफेरोमेट्रिक सेंसर से सुसज्जित है, जो नमूना सतह आकार का पता लगाने के लिए एक इंटरफेरोमेट्रिक सेंसर मॉड्यूल बनाता है। सामान्य पथ इंटरफेरोमेट्रिक फ्रिंजों को रिकॉर्ड करके, परीक्षण नमूने की सतह पर त्रि-आयामी जानकारी की वास्तविक समय प्रतिक्रिया प्राप्त की जा सकती है। डुअल कैमरा सिस्टम एक साथ काम कर सकता है।

व्यावसायिक सॉफ्टवेयर मॉड्यूल

◆"लेजर प्लानर इंटरफेरोमीटर" सॉफ्टवेयर से सुसज्जित, यह मापे गए ऑप्टिकल तत्व विमान, आउटपुट पीवी मान, आरएमएस मान और मापी गई सतह के पावर मान की वास्तविक समय 3डी छवियों को प्रदर्शित और आउटपुट कर सकता है।

◆साथ ही, सॉफ्टवेयर माप परिणामों के कच्चे डेटा को निर्यात करने, विभिन्न अध्ययनों के लिए मात्रात्मक पहचान डेटा समर्थन प्रदान करने और उपयोगकर्ताओं को भविष्य में डेटा विश्लेषण और अनुसंधान करने की सुविधा प्रदान करने का समर्थन करता है।